Die Genauigkeit von gedruckter Elektronik unter 1 um

Die Technologie der gedruckten Elektronik entwickelt sich weiter. Eine Entwicklungsrichtung ist der Druck ultrafeiner Linien, wodurch die Technologie zunehmend in den Bereich der Fotolithografie vordringt. Das hier gezeigte Beispiel, das von VTT entwickelt wurde, demonstriert ein Verfahren für den Druck im Submikrometerbereich.

Das Verfahren ist ein umgekehrter Offsetdruck. Dabei wird die PDMS-Walze zunächst mit der Farbe beschichtet. Die Farbe trocknet auf der Walze teilweise durch Absorption im PDMS. Dieser halbtrockene Zustand ermöglicht es, Probleme mit der Benetzung zu überwinden, wenn die Farbe in flüssigem Zustand ist. Die eingefärbte PDMS-Walze wird mit einer Klischee- oder Reliefplatte in Kontakt gebracht, wodurch ein Teil der Druckfarbe entfernt wird. Die strukturierten, halbtrockenen Druckfarben auf der PDMS-Walze werden dann auf das endgültige Substrat übertragen.

In diesem Beispiel erreicht VTT einen 1µm-Direktdruck von Silber-Nanopartikelfarben. Der Desktop-RO-Drucker wurde verwendet, um ein Metallgitter mit einer Linienbreite von 1 µm auf PET zu drucken. Der gemeldete Schichtwiderstand ist nicht sehr niedrig (100 Ohm/qm), wahrscheinlich weil die Linien sehr dünn sind.

Generell ist anzumerken, dass ROP minimale Auflösungen zwischen 0,5-5µm, gedruckte Linienstärken von 20-1000nm, Überlagerungsgenauigkeit <2um und Druckgeschwindigkeiten von 50mm/s (3m/min) ermöglicht. [This is automatically translated from English]