センサー用高屈曲性無機TFTアレイ
- ilijastefanov6
- Feb 24, 2023
- 2 min read
講演者 伊藤 学｜会社紹介 トッパン｜開催日：2022年3月9日～10日｜プレゼンテーション全文
フレキシブル薄膜トランジスタ（TFT）は、折りたたみ可能なスマートフォンやIoTセンサー、受光素子などへの応用が注目されている。この用途では、構成材料が柔らかいことから、有機TFTが最有力候補とされてきた。しかし、有機TFTは移動度が低い、安定性が低い、製造工程が未熟であるなどの問題がある。
本講演では、曲げやすいIGZO TFTを紹介します。このTFTは、中立面という概念を用いずに、曲率半径1mmで100万回の屈曲試験に初めて耐えることができました。100万回の屈曲試験後も、顕著な特性劣化は認められません。フレキシブルセンサーデバイスへの応用に大きな可能性を感じています。
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