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工業用大面積薄膜の迅速かつコスト効率の良い品質検査法

カールスルーエ工科大学微細構造技術研究所、光技術研究所&薄膜技術(TFT)の研究グループがRRL Solarの記事を掲載しました 「溶液プロセスによるペロブスカイト膜のモルフォロジー形成の大面積モニタリングのための相関的In Situマルチチャンネルイメージング法" 大面積の薄膜の品質を3重の方法で測定する新しい方法に焦点を当てます。反射率、フォトルミネッセンス(PL)強度、PL発光波長の3つを高速かつ同時に測定する新しい方法を紹介します。


「光学(あるいは赤外)技術は、スピンコーティングやブレードコーティングのような一般的な溶液処理法のモニタリングに容易に使用できること、また、大面積の情報を低コストで提供できること、必要な大面積の励起は高出力発光ダイオードで行うことができるという利点を持っている。シリコン、GaAs、CdTe、CIGS などの他の太陽光発電技術ですでに確立されている大面積での発光・反射イメージングや発光顕微鏡は、ペロブスカイト薄膜の品質やこれらの薄膜を組み込んだデバイスの性能に関する重要な情報をもたらすことが実証された。しかし、ペロブスカイト薄膜形成のダイナミクスを解析するために、大面積のイメージング能力と高速リアルタイム動作の両方を兼ね備えた技術は、我々の知る限りでは今のところ存在しません。


"そこで我々は、市販の科学カメラ、安価なリング光源、3Dプリントされた高速回転フィルターホイールをベースに、反射率、フォトルミネセンス(PL)強度、中心PL発光波長の推定値の画像をそれぞれ3fpsの「フレームレート」で連続生成できるin situモニタリング技術を開発しました。この手法をIMI(in situ multichannel imaging)と呼び、動的段階であるI-IVを空間的・時間的に追跡することができるようになった。IMIの能力をテストするための理想的な条件を提供するために、私たちは試料上の気流と温度を完全に制御しています。この理想化されたリファレンスを手元に置き、IMIが工業規模のコーティングラインで有用であることを実証します。"



[This is automatically translated from English]






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